VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
Silicon (100) wafer, briefly soaked in 3% HF etch, 90 TOA           
1

NORM
REGULAR
1
0
0
0
0
0
1

Silicon (100) wafer, briefly soaked in 3% HF etch, 90 TOA           
2003
5
10
14
45
59
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
14.4
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
106
-0.0352941
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
12
4.00E-06
0
0
0
0
512
5
1168
6.903
6.948
31
6.903
42
6.90318
32
6.90335
37
6.90353
35
6.90371
34
6.90388
38
6.90406
28
6.90424
32
6.90441
32
6.90459
29
6.90476
39
6.90494
36
6.90512
26
6.90529
27
6.90547
32
6.90565
38
6.90582
26
6.906
29
6.90618
18
6.90635
27
6.90653
26
6.90671
21
6.90688
26
6.90706
34
6.90724
33
6.90741
40
6.90759
40
6.90776
24
6.90794
32
6.90812
27
6.90829
26
6.90847
29
6.90865
20
6.90882
32
6.909
33
6.90918
42
6.90935
29
6.90953
27
6.90971
30
6.90988
30
6.91006
27
6.91024
26
6.91041
31
6.91059
31
6.91076
36
6.91094
30
6.91112
35
6.91129
27
6.91147
24
6.91165
25
6.91182
28
6.912
31
6.91218
36
6.91235
25
6.91253
30
6.91271
41
6.91288
25
6.91306
32
6.91324
33
6.91341
36
6.91359
36
6.91376
22
6.91394
31
6.91412
26
6.91429
34
6.91447
26
6.91465
26
6.91482
30
6.915
28
6.91518
31
6.91535
24
6.91553
24
6.91571
29
6.91588
28
6.91606
26
6.91624
30
6.91641
23
6.91659
21
6.91676
31
6.91694
25
6.91712
24
6.91729
29
6.91747
23
6.91765
21
6.91782
37
6.918
24
6.91818
32
6.91835
34
6.91853
27
6.91871
32
6.91888
33
6.91906
34
6.91924
33
6.91941
35
6.91959
22
6.91976
35
6.91994
38
6.92012
29
6.92029
31
6.92047
37
6.92065
37
6.92082
31
6.921
32
6.92118
29
6.92135
22
6.92153
31
6.92171
27
6.92188
35
6.92206
35
6.92224
39
6.92241
36
6.92259
28
6.92276
28
6.92294
39
6.92312
40
6.92329
40
6.92347
36
6.92365
37
6.92382
32
6.924
34
6.92418
29
6.92435
35
6.92453
33
6.92471
30
6.92488
40
6.92506
32
6.92524
31
6.92541
27
6.92559
39
6.92576
36
6.92594
28
6.92612
26
6.92629
43
6.92647
28
6.92665
25
6.92682
28
6.927
35
6.92718
33
6.92735
31
6.92753
45
6.92771
36
6.92788
35
6.92806
56
6.92824
50
6.92841
51
6.92859
59
6.92876
57
6.92894
54
6.92912
67
6.92929
69
6.92947
82
6.92965
77
6.92982
114
6.93
137
6.93018
151
6.93035
182
6.93053
240
6.93071
281
6.93088
357
6.93106
413
6.93124
490
6.93141
552
6.93159
607
6.93176
649
6.93194
702
6.93212
669
6.93229
621
6.93247
601
6.93265
561
6.93282
488
6.933
450
6.93318
418
6.93335
437
6.93353
446
6.93371
538
6.93388
597
6.93406
725
6.93424
814
6.93441
964
6.93459
1041
6.93476
1146
6.93494
1117
6.93512
1168
6.93529
1030
6.93547
970
6.93565
768
6.93582
668
6.936
478
6.93618
358
6.93635
263
6.93653
163
6.93671
139
6.93688
114
6.93706
73
6.93724
61
6.93741
40
6.93759
39
6.93776
41
6.93794
38
6.93812
22
6.93829
20
6.93847
25
6.93865
23
6.93882
12
6.939
17
6.93918
15
6.93935
11
6.93953
22
6.93971
26
6.93988
21
6.94006
17
6.94024
19
6.94041
19
6.94059
14
6.94076
18
6.94094
27
6.94112
16
6.94129
17
6.94147
14
6.94165
15
6.94182
15
6.942
20
6.94218
13
6.94235
13
6.94253
13
6.94271
14
6.94288
17
6.94306
22
6.94324
13
6.94341
17
6.94359
17
6.94376
16
6.94394
11
6.94412
10
6.94429
8
6.94447
20
6.94465
20
6.94482
11
6.945
11
6.94518
17
6.94535
15
6.94553
17
6.94571
15
6.94588
11
6.94606
16
6.94624
16
6.94641
16
6.94659
5
6.94676
13
6.94694
11
6.94712
13
6.94729
17
6.94747
15
6.94765
15
6.94782
17
6.948
end of experiment
